签了合同，赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室。
对于已经建好的光刻机工作间，每一次实验都是非常昂贵的。
穿上堪比防护服的白色工作服，李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间。
赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统，将光源设备更换后，又很熟练的分成两队。
李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数，张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。
虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的。
工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。
“赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。
赵兴夏点了点头。
不论是近紫外激光还是深紫外激光，又或者最高端的极紫外光EUV。
它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。
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